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“纳米步长步进式驱动器”获国家实用新型专利
发布时间:2006-11-14 00:00:00 阅读次数:541 来源单位:新闻网  责任编辑:系统管理员

 

由沈世德、吴努、金江、刘羡飞共同设计的“纳米步长步进式驱动器”最近获得国家知识产权局颁发的实用新型专利证书。该专利适用于各种微小机械,可作为集成电路刻线装置中的驱动,光学仪器中的精细微小量位移等。(俞维湖)

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