“纳米步长步进式驱动器”获国家实用新型专利

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阅读次数：543发布时间：2006-11-14 00:00来源单位：新闻网责任编辑：

由沈世德、吴努、金江、刘羡飞共同设计的“纳米步长步进式驱动器”最近获得国家知识产权局颁发的实用新型专利证书。该专利适用于各种微小机械，可作为集成电路刻线装置中的驱动，光学仪器中的精细微小量位移等。（俞维湖）

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